KR102796231B1 - diaphragm gas valve device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 다이어프램 가스 밸브 장치에 관한 것으로, 상,하부에 각기 상,하단 개구부가 형성되고 내부에 통로가 형성되며, 통로의 하부에 통하도록 형성된 헤드삽입홈이 형성된 제1 밸브바디; 상기 제1 밸브바디의 하단부에 결합되는 결합홈이 내측에 형성되고, 내부의 저면에 다수개 형성되며 하부면을 관통하여 외부에 통하는 다수개의 유로가 형성된 제2 밸브바디; 상기 제2 밸브바디의 결합홈에 안착되는 다이어프램과, 상기 제1 밸브바디의 통로에 삽입되는 샤프트와, 상기 샤프트의 하단에 결합되어 다이어프램에 밀착되는 샤프트헤드로 구성된 다이어프램 개폐부; 상기 제1 밸브바디의 상단에 결합되는 하우징과, 상기 하우징의 상부에 결합되며 외부로부터 에어가 주입되는 에어주입관과, 에어가 흡입되는 에어흡입관이 연결되는 커버로 구성된 본체와, 상기 본체의 내부에 결합되며 에어압력에 의해 승강구동되는 피스톤 조립체를 구비하고, 상기 피스톤 조립체의 승강작동에 연동되어 샤프트를 승강시켜 다이어프램의 개폐작동을 유발하는 구동부;를 포함한다. The present invention relates to a diaphragm gas valve device, comprising: a first valve body having upper and lower openings formed at the upper and lower portions, respectively, a passage formed inside, and a head insertion groove formed to communicate with the lower portion of the passage; a second valve body having a joining groove formed inside to be joined to the lower portion of the first valve body, a plurality of passages formed on a lower surface of the inside, and a plurality of passages penetrating the lower surface and communicating with the outside; a diaphragm opening/closing portion comprising a diaphragm seated in the joining groove of the second valve body, a shaft inserted into the passage of the first valve body, and a shaft head coupled to the lower portion of the shaft and in close contact with the diaphragm; It includes a housing coupled to the upper end of the first valve body, a body including an air injection pipe coupled to the upper end of the housing and into which air is injected from the outside, and a cover to which an air suction pipe through which air is sucked is connected, and a driving unit having a piston assembly coupled to the inside of the body and driven up and down by air pressure, and which raises and lowers a shaft in conjunction with the raising and lowering operation of the piston assembly to induce an opening and closing operation of the diaphragm.
Description
본 발명은 다이어프램 가스 밸브 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유체의 압력과 구동부의 작동에 의해 개폐 작동되어 유체의 이동을 조절하는 다이어프램 가스 밸브 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a diaphragm gas valve device, and more specifically, to a diaphragm gas valve device that is opened and closed by the pressure of a fluid and the operation of a driving part to control the movement of a fluid.
일반적으로 반도체 제조 공정에 있어서는, 인화 폭발성, 분해 폭발성, 부식성, 독성 등의 각종 특수 가스, 예를 들면, 포스핀이나 아르신, 실란 등을 사용한다. Typically, in the semiconductor manufacturing process, various special gases that are flammable and explosive, decompose explosively, corrosive and toxic, such as phosphine, arsine and silane, are used.
이와 같은 특수 재료 가스는, 수십 기압에서 100 기압 이상의 고압력으로 가스 봄베에 충전하여 두고, 밀폐된 청정실 내에 그 가스 봄베를 설치하고, 배관 도중에 배치된 밸브를 통하여 반도체 제조장치에 공급되거나, 또는 상기 장치로부터 배기된다.Such special material gas is charged into a gas cylinder at a high pressure of tens to 100 atmospheres or more, and the gas cylinder is installed in a sealed clean room, and supplied to a semiconductor manufacturing device through a valve placed in the middle of the piping, or exhausted from the device.
최근, 반도체 기판의 고집적화에 따라, 반도체 소자의 고속화 및 소형화가 현저하게 진행되어 있고, 그에 따라, 베이스가 되는 실리콘 웨이퍼도 고순도, 고품질의 것이 요구되므로, 그 제조 공정에 있어서 사용되는 상기와 같은 각종 특수한 가스 유체(流體)의 유량 제어 정밀도에도, 현저하게 높은 정밀도가 요구되고 있다.Recently, with the high integration of semiconductor substrates, the speed and miniaturization of semiconductor elements have progressed remarkably, and accordingly, the silicon wafers that serve as the base are also required to be of high purity and high quality, and therefore, the flow rate control precision of various special gas fluids used in the manufacturing process is also required to be remarkably high precision.
이와 같이 하여 반도체 제조 공정에 설치되는 유체 제어 장치로서의 밸브의 밸브체 이동의 정밀도에는, 높은 변위 정밀도가 요구되므로, 특히, 그 거리 제어와 물리적으로 직접 관련된 부재인 밸브 시트(valve seat)의 상태를 고품질로 유지할 필요가 있다.In this way, since high displacement precision is required for the precision of valve body movement of a valve as a fluid control device installed in a semiconductor manufacturing process, it is necessary to maintain the state of the valve seat, which is a member directly physically related to the distance control, at a high quality in particular.
NC(노멀 클로즈 타입) 다이어프램 밸브를 고압 유체용으로서 사용하는 경우, 부식성 유체 등의 고압 유체에 대한 고실링성(sealing characteristic)을 확보하기 위해, 상시 폐쇄 상태의 밸브에 대하여 또한 스프링 등의 외력에 의해 밸브체에 의한 밸브 시트에 대한 압압(押壓; pressing) 부하를 상시 가하도록 하여, 밸브체를 가압하는 압압력(押壓力)을 높게 하는 경우가 있다.When using an NC (normally closed type) diaphragm valve for high-pressure fluids, in order to secure high sealing characteristics for high-pressure fluids such as corrosive fluids, there are cases where a pressing load is constantly applied to the valve seat by the valve body by an external force such as a spring, even with the valve in a normally closed state, thereby increasing the pressing force that pressurizes the valve body.
본 발명자는 한국 특허출원 10-2024-0008239호 '다이어프램 가스 밸브 장치'를 출원하여 등록된 바 있다. The inventor of the present invention has applied for and registered Korean Patent Application No. 10-2024-0008239, ‘Diaphragm Gas Valve Device.’
선행 기술을 살펴보면, 샤프트를 출몰작동시키는 동력원을 구비한 구동부를 포함하고, 구동부는 케이스의 내부에 결합되는 피스톤과, 피스톤의 외주면에 결합되어 케이스의 내주면과 밀착되어 기밀성을 발휘하는 패킹을 포함하여 이루어진다.Looking at the prior art, it includes a driving unit having a power source that retracts and retracts a shaft, and the driving unit includes a piston coupled to the inside of a case, and a packing coupled to the outer surface of the piston and in close contact with the inner surface of the case to provide airtightness.
따라서 외부의 에어 공급시 피스톤이 승강작동됨으로써 그에 연결된 샤프트가 승강되도록 하는 것인데 에어 전달 속도 차이로 인해 피스톤의 미세 동작 차이가 발생될 가능성이 있었고, 이렇게 미세 동작 차이가 발생될 경우 샤프트의 승강작동과 그에 종동된 다이어프램의 개폐구동에 오차가 발생되어 유로 개폐의 정확도가 저하되는 단점이 있었다. Accordingly, when external air is supplied, the piston moves up and down, thereby causing the shaft connected to it to move up and down. However, there was a possibility that a difference in the air delivery speed could cause a difference in the minute movement of the piston. If such a difference in minute movement occurs, an error occurs in the movement of the shaft up and down and the opening and closing operation of the diaphragm connected to it, which has the disadvantage of reducing the accuracy of the opening and closing of the diaphragm.
또한 선행 기술은 피스톤의 상승한계값이 특정되어 있는 바 유량의 제어 능력에 제한이 있었다. In addition, the prior art had a limited ability to control the flow rate because the piston's rising limit was specified.
본 발명은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 구동부를 구성하는 피스톤과, 피스톤에 연결된 샤프트를 승강구동이 동시에 구동되어 오차발생을 방지할 수 있어 정확성이 향상될 수 있고, 피스톤의 상승한계위치를 조절할 수 있어 유량의 변동을 정밀하게 제어할 수 있는 다이어프램 가스 밸브 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art, and the purpose of the present invention is to provide a diaphragm gas valve device in which a piston constituting a driving unit and a shaft connected to the piston are simultaneously driven for elevation, thereby preventing the occurrence of errors, thereby improving accuracy, and enabling precise control of changes in flow rate by adjusting the rising limit position of the piston.
상기한 본 발명의 목적은, 상,하부에 각기 상,하단 개구부가 형성되고 내부에 통로가 형성되며, 통로의 하부에 통하도록 형성된 헤드삽입홈이 형성된 제1 밸브바디; 상기 제1 밸브바디의 하단부에 결합되는 결합홈이 내측에 형성되고, 내부의 저면에 다수개 형성되며 하부면을 관통하여 외부에 통하는 흡입유로와 배출유로가 형성된 제2 밸브바디; 상기 제2 밸브바디의 결합홈에 안착되는 다이어프램과, 상기 제1 밸브바디의 통로에 삽입되는 샤프트와, 상기 샤프트의 하단에 결합되어 다이어프램에 밀착되는 샤프트헤드로 구성된 다이어프램 개폐부; 상기 제1 밸브바디의 상단에 결합되는 하우징과, 상기 하우징의 상부에 결합되며 외부로부터 에어가 주입되는 에어주입관과, 에어가 흡입되는 에어흡입관이 연결되는 커버로 구성된 본체와, 상기 본체의 내부에 결합되며 에어압력에 의해 승강구동되는 피스톤 조립체를 구비하고, 상기 피스톤 조립체의 승강작동에 연동되어 샤프트를 승강시켜 다이어프램의 개폐작동을 유발하는 구동부;를 포함하는 다이어프램 가스 밸브 장치에 의해 달성될 수 있다. The purpose of the present invention as described above is: a first valve body having upper and lower openings formed at the upper and lower portions, a passage formed inside, and a head insertion groove formed to communicate with the lower portion of the passage; a second valve body having a joining groove formed inside that is joined to the lower portion of the first valve body, a plurality of intake passages and exhaust passages formed on a lower surface of the inside and penetrating the lower surface to communicate with the outside; a diaphragm opening/closing portion comprising a diaphragm that is seated in the joining groove of the second valve body, a shaft that is inserted into the passage of the first valve body, and a shaft head that is joined to the lower portion of the shaft and is in close contact with the diaphragm; The present invention can be achieved by a diaphragm gas valve device including a housing coupled to the upper end of the first valve body, a body including an air injection pipe coupled to the upper end of the housing and into which air is injected from the outside, and a cover to which an air suction pipe through which air is sucked is connected, and a driving unit having a piston assembly coupled to the inside of the body and driven up and down by air pressure, and which raises and lowers a shaft in conjunction with the raising and lowering operation of the piston assembly to induce an opening and closing operation of the diaphragm.
상기 본체의 커버는 하부에 개구부가 형성되고, 내부에 공간이 형성되며, 상부판의 일측에 에어주입관과 에어흡입관이 각기 결합되는 주입구와 흡입구가 각기 형성되며, 상부판의 주입구에 통하며 상부판의 하부에 돌출 형성된 체결관; 상기 체결관의 외주면에 결합되어 커버 내에 구비되는 스프링; 상기 체결관의 내주면에 나사결합되며 내부에 통공이 형성된 조절너트와, 상기 조절너트의 통공에 결합되며 상기 체결관의 주입구로 머리가 노출되도록 결합되고 내부에는 통로가 형성된 조절볼트로 구성되고, 상기 조절볼트에 피스톤 조립체가 연결되는 조절부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다. The cover of the above main body is characterized by including: a cover having an opening formed at the bottom, a space formed inside, an inlet and an inlet formed on one side of the upper plate to which an air injection pipe and an air suction pipe are respectively connected, a fastening tube which communicates with the inlet of the upper plate and protrudes from the lower part of the upper plate; a spring which is coupled to the outer surface of the fastening tube and provided in the cover; an adjusting nut which is screw-connected to the inner surface of the fastening tube and has a hole formed inside, and an adjusting bolt which is coupled to the hole of the adjusting nut and is coupled so that its head is exposed through the inlet of the fastening tube and has a hole formed inside, and an adjusting member in which a piston assembly is connected to the adjusting bolt.
상기 피스톤 조립체는 상기 조절볼트의 하부가 삽입되도록 끼움공이 형성된 피스톤관체와, 피스톤관체의 외주연 하부에 원판형상으로 형성되고 하부면에는 상기 끼움공과 통하는 하부통공이 형성되어 커버의 내주면에 밀착되는 상부피스톤; 상기 피스톤관체의 하부통공에 끼움결합되며 내부에 통로가 형성된 중공관 샤프트와, 상기 중공관 샤프트의 하부에 원판형상으로 형성되어 하우징의 내주면에 밀착되는 하부피스톤; 상기 중공관 샤프트의 외주면이 관통결합되도록 중심부에 관통공이 형성되고, 커버의 개구부 내주면에 고정설치되도록 원판형상으로 형성되어 상부피스톤과 하부피스톤 사이에 배치되는 피스톤 지지대;를 포함하는 것을 특징으로 한다. The piston assembly is characterized by including: a piston tube having a fitting hole formed so that the lower portion of the adjusting bolt can be inserted; an upper piston formed in a disc shape on the lower portion of the outer periphery of the piston tube and having a lower hole formed in the lower surface communicating with the fitting hole so as to be in close contact with the inner surface of the cover; a hollow tube shaft having a passage formed inside and fitted into the lower hole of the piston tube; a lower piston formed in a disc shape on the lower portion of the hollow tube shaft so as to be in close contact with the inner surface of the housing; and a piston support formed in a disc shape so as to be fixedly installed on the inner surface of the opening of the cover and having a through hole formed in the center so that the outer periphery of the hollow tube shaft can be penetratedly connected, and disposed between the upper piston and the lower piston.
상기 중공관 샤프트는 외주면에 관통되어 통로와 통하는 1차 토출공이 형성되고, 상기 1차 토출공은 상부피스톤과 피스톤지지대 사이에 대응되게 형성되고, 상기 통로의 하부에 형성되며 하부피스톤의 하면에 관통되는 2차 토출공이 형성되며, 상기 2차 토출공은 하우징의 내측 저면을 향하도록 형성되는 것을 특징으로 한다. The above hollow shaft is characterized in that a first discharge hole is formed through the outer surface thereof and communicates with a passage, the first discharge hole is formed correspondingly between the upper piston and the piston support, and a second discharge hole is formed at the lower portion of the passage and penetrates the lower surface of the lower piston, and the second discharge hole is formed so as to face the inner bottom surface of the housing.
상기 하부피스톤과 제1 밸브바디의 샤프트가 일체로 승강구동되도록 하는 피스톤 연결부;를 포함하고, 상기 피스톤 연결부는 하부피스톤의 하부에 돌출 형성되어 제1 밸브바디의 상단 개구부에 끼움결합되는 연장축과, 상기 제1 밸브바디의 통로의 내주면에 결합되며 상기 연장축의 외주면에 밀착되어 고정력과 밀폐력을 발휘하는 오링을 포함하는 것을 특징으로 한다. It includes a piston connecting part that allows the lower piston and the shaft of the first valve body to be driven up and down as one unit, and the piston connecting part is characterized by including an extension shaft that protrudes from the lower portion of the lower piston and is fitted into the upper opening of the first valve body, and an O-ring that is connected to the inner surface of the passage of the first valve body and is in close contact with the outer surface of the extension shaft to exert a fixing force and a sealing force.
상기 제1 밸브바디가 상기 하우징에 회전 가능하게 결합되도록 회전부;를 포함하고, 상기 회전부는 상기 하우징의 하부면에 형성된 결합공을 통해 상기 제1 밸브바디의 상부가 끼움결합되고, 제1 밸브바디의 상부 외면에 결합되어 하우징의 내면에 밀착되는 걸림판과, 상기 제1 밸브바디의 상부 외주면에 결합되며 상기 결합공의 내주면에 삽입되는 패킹 및 상기 제1 밸브바디의 상부 외주면에 돌출 형성되어 하우징의 하부면에 지지되는 환턱을 포함하는 것을 특징으로 한다.The first valve body is characterized by including a rotating member so as to be rotatably coupled to the housing, wherein the rotating member is characterized by including a connecting hole formed on the lower surface of the housing through which the upper portion of the first valve body is fitted, a catch plate coupled to the upper outer surface of the first valve body and in close contact with the inner surface of the housing, a packing coupled to the upper outer surface of the first valve body and inserted into the inner surface of the connecting hole, and a ring protrudingly formed on the upper outer surface of the first valve body and supported on the lower surface of the housing.
상기 제2 밸브바디는 결합홈이 내측에 형성되고, 내부의 저면 중앙에 형성된 흡입유로와, 흡입유로의 상부에 돌출된 환턱과, 환턱의 상단개구부에 결합되어 샤프트헤드가 접촉되는 시트링과, 상기 환턱의 외주연에 형성된 환형홈과, 상기 환형홈에 다수개 형성된 배출유로를 포함하고, 상기 결합홈의 내주면에는 원주방향을 따라서 환형단턱이 형성되고, 상기 환형단턱에는 다이어프램의 외주연이 안착되어 결합되며, 상기 결합홈의 내주면에 결합되어 상기 다이어프램의 외주연 상부에 지지되는 가압링을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. The second valve body is characterized in that it includes a joining groove formed on the inside, a suction channel formed in the center of the bottom surface inside, a ring protruding on the upper part of the suction channel, a seat ring joined to the upper opening of the ring so that the shaft head comes into contact, an annular groove formed on the outer periphery of the ring, and a plurality of discharge channels formed in the annular groove, and an annular step formed along the circumferential direction on the inner surface of the joining groove, an outer periphery of a diaphragm is seated and joined to the annular step, and a pressure ring joined to the inner surface of the joining groove and supported on the upper part of the outer periphery of the diaphragm.
본 발명에 따르면, 구동부를 구성하는 피스톤을 복수개로 구성하고, 복수개의 피스톤을 동시에 승강시켜 승강 동력이 강화될 수 있으므로 피스톤에 연동되는 샤프트의 승강구동이 정확하게 실행될 수 있도록 하여 샤프트에 연동되어 다이어프램의 개폐작동이 보다 정밀하게 조작될 수 있어 개폐정밀도가 향상된다. According to the present invention, since the driving unit is configured with a plurality of pistons, and the plurality of pistons are raised and lowered simultaneously, the lifting power can be strengthened, so that the lifting and lowering drive of the shaft linked to the piston can be accurately performed, and the opening and closing operation of the diaphragm linked to the shaft can be more precisely operated, thereby improving the opening and closing precision.
또한 피스톤의 상승한계위치를 증감시킬 수 있어 다이어프램의 개폐를 제어하는 유량값의 변동을 정밀하게 제어할 수 있고, 이를 통해 정밀한 유량 이동을 조절할 수 있다. In addition, the rising limit position of the piston can be increased or decreased, so that the change in the flow rate value that controls the opening and closing of the diaphragm can be precisely controlled, thereby allowing precise flow rate movement to be adjusted.
도 1은 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에 대한 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에 대한 단면사시도,
도 3은 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에 대한 정단면도,
도 4는 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에 대한 측단면도,
도 5는 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치를 나타낸 분해사시도,
도 6은 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치를 하부에서 올려다 본 분해사시도,
도 7은 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에서 '피스톤 조립체'의 분해사시도,
도 8은 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에서 '피스톤 조립체'의 작동을 나타낸 정면도,
도 9는 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에서 '조절부재'를 나타낸 부분 단면 사시도.Figure 1 is a perspective view of a diaphragm gas valve device according to the present invention;
Figure 2 is a cross-sectional perspective view of a diaphragm gas valve device according to the present invention.
Figure 3 is a cross-sectional view of a diaphragm gas valve device according to the present invention.
Figure 4 is a side cross-sectional view of a diaphragm gas valve device according to the present invention.
Figure 5 is an exploded perspective view showing a diaphragm gas valve device according to the present invention.
Figure 6 is an exploded perspective view of the diaphragm gas valve device according to the present invention, viewed from below.
Figure 7 is an exploded perspective view of a 'piston assembly' in a diaphragm gas valve device according to the present invention.
Figure 8 is a front view showing the operation of the 'piston assembly' in the diaphragm gas valve device according to the present invention.
Figure 9 is a partial cross-sectional perspective view showing a 'regulating member' in a diaphragm gas valve device according to the present invention.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the attached drawings. However, since various modifications may be made to the embodiments, the scope of the patent application rights is not limited or restricted by these embodiments. It should be understood that all modifications, equivalents, or substitutes to the embodiments are included in the scope of the rights.
실시예들에 대한 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 예시를 위한 목적으로 개시된 것으로서, 다양한 형태로 변경되어 실시될 수 있다. 따라서, 실시예들은 특정한 개시형태로 한정되는 것이 아니며, 본 명세서의 범위는 기술적 사상에 포함되는 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments are disclosed for illustrative purposes only and may be modified and implemented in various forms. Accordingly, the embodiments are not limited to specific disclosed forms, and the scope of the present disclosure includes modifications, equivalents, or alternatives included in the technical idea.
제1 또는 제2 등의 용어를 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이런 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 해석되어야 한다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로도 명명될 수 있다.Although the terms first or second may be used to describe various components, such terms should be construed only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, a first component may be referred to as a second component, and similarly, a second component may also be referred to as a first component.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.When it is said that a component is "connected" to another component, it should be understood that it may be directly connected or connected to that other component, but there may also be other components in between.
실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the examples are for the purpose of description only and should not be construed as limiting. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly indicates otherwise. In this specification, the terms "comprises" or "has" and the like are intended to specify the presence of a feature, number, step, operation, component, part or combination thereof described in the specification, but should be understood to not exclude in advance the possibility of the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the embodiments belong. Terms defined in commonly used dictionaries, such as those defined in common dictionaries, should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning they have in the context of the relevant art, and shall not be interpreted in an idealized or overly formal sense, unless expressly defined in this application.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In addition, when describing with reference to the attached drawings, the same components will be given the same reference numerals regardless of the drawing numbers, and redundant descriptions thereof will be omitted. When describing an embodiment, if it is determined that a detailed description of a related known technology may unnecessarily obscure the gist of the embodiment, the detailed description thereof will be omitted.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.The advantages and features of the present invention, and the method for achieving them, will become clear with reference to the embodiments described in detail below together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, and these embodiments are provided only to make the disclosure of the present invention complete and to fully inform a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs of the scope of the invention, and the present invention is defined only by the scope of the claims.
본 발명의 실시예들에서, 별도로 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 실시예에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.In the embodiments of the present invention, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning they have in the context of the relevant technology, and shall not be interpreted in an ideal or overly formal meaning unless explicitly defined in the embodiments of the present invention.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 ‘포함한다’, ‘갖는다’, ‘이루어진다’ 등이 사용되는 경우 ‘~만’이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.The shapes, sizes, ratios, angles, numbers, etc. disclosed in the drawings for explaining embodiments of the present invention are exemplary, and therefore the present invention is not limited to the matters illustrated. In addition, when describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. When the terms “includes,” “has,” “consists of,” etc. are used in this specification, other parts may be added unless “only” is used. When a component is expressed in the singular, it includes a case where the plural is included unless there is a specifically explicit description.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.When interpreting a component, it is interpreted as including the error range even if there is no separate explicit description.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, ‘~상에’, ‘~상부에’, ‘~하부에’, ‘~옆에’ 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, ‘바로’ 또는 ‘직접’이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.When describing a positional relationship, for example, when the positional relationship between two parts is described as ‘on ~’, ‘upper ~’, ‘lower ~’, ‘next to ~’, etc., one or more other parts may be located between the two parts, unless ‘right’ or ‘directly’ is used.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.When elements or layers are referred to as being "on" another element or layer, this includes both cases where the other element is directly on top of the other element or layer, or where there are other layers or elements intervening therebetween. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.The size and thickness of each component shown in the drawings are illustrated for convenience of explanation, and the present invention is not necessarily limited to the size and thickness of the illustrated components.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하며, 당업자가 충분히 이해할 수 있듯이 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시 가능할 수도 있다.The individual features of the various embodiments of the present invention may be partially or wholly combined or combined with each other, and as can be fully understood by those skilled in the art, various technical connections and operations are possible, and each embodiment may be implemented independently of each other or may be implemented together in a related relationship.
첨부된 도면 중에서, 도 1은 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에 대한 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에 대한 단면사시도, 도 3은 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에 대한 정단면도, 도 4는 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에 대한 측단면도, 도 5는 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치를 나타낸 분해사시도, 도 6은 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치를 하부에서 올려다 본 분해사시도, 도 7은 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에서 '피스톤 조립체'의 분해사시도, 도 8은 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에서 '피스톤 조립체'의 작동을 나타낸 정면도, 도 9는 본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치에서 '조절부재'를 나타낸 부분 단면 사시도이다.Among the attached drawings, FIG. 1 is a perspective view of a diaphragm gas valve device according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional perspective view of a diaphragm gas valve device according to the present invention, FIG. 3 is a sectional view of a diaphragm gas valve device according to the present invention, FIG. 4 is a side cross-sectional view of a diaphragm gas valve device according to the present invention, FIG. 5 is an exploded perspective view showing a diaphragm gas valve device according to the present invention, FIG. 6 is an exploded perspective view looking up from below of a diaphragm gas valve device according to the present invention, FIG. 7 is an exploded perspective view of a 'piston assembly' in a diaphragm gas valve device according to the present invention, FIG. 8 is a front view showing the operation of a 'piston assembly' in a diaphragm gas valve device according to the present invention, and FIG. 9 is a partial cross-sectional perspective view showing a 'regulating member' in a diaphragm gas valve device according to the present invention.
본 발명에 따른 다이어프램 가스 밸브 장치는, 크게 제1 밸브바디(100), 제2 밸브바디(200), 다이어프램 개폐부(300), 구동부(400)로 구성된다. The diaphragm gas valve device according to the present invention is largely composed of a first valve body (100), a second valve body (200), a diaphragm opening/closing part (300), and a driving part (400).
제1 밸브바디(100)는 원통형상의 상부바디(110)와, 상부바디(110)에 연결되며 상부바디(110) 보다 직경이 작은 목부(120)와, 상기 목부(120)의 하부에 형성되며 상부바디(110) 보다 직경이 큰 하부바디(130)를 포함하고, 상부바디(110)와 목부(120)를 관통하여 상,하부에 각기 상,하단 개구부가 형성되고 내부에 통로가 형성된다. The first valve body (100) includes a cylindrical upper body (110), a neck (120) connected to the upper body (110) and having a smaller diameter than the upper body (110), and a lower body (130) formed at the lower portion of the neck (120) and having a larger diameter than the upper body (110), and upper and lower openings are formed at the upper and lower portions respectively through the upper body (110) and the neck (120), and a passage is formed inside.
그리고 하부바디(130)의 저부에는 통로의 하부에 통하도록 헤드삽입홈(132)이 형성된다. And, a head insertion groove (132) is formed in the lower part of the lower body (130) to connect to the lower part of the passage.
하부바디(130)에는 열자켓(미도시)이 구비되어 고온 상태로 유지되도록 하여 유체의 흐름이 원활하게 유지되어야 한다. The lower body (130) is equipped with a heat jacket (not shown) to maintain a high temperature and ensure smooth flow of fluid.
따라서 하부바디(130)의 열이 상부바디(110)로 전달되지 않도록 중간의 길이가 긴 목부(120)를 통해 외부로 열이 방출되어 냉각될 수 있다. Accordingly, heat from the lower body (130) can be cooled by discharging it to the outside through the long neck (120) in the middle so that the heat is not transferred to the upper body (110).
제2 밸브바디(200)는 제1 밸브바디(100)의 하단부에 결합되는 결합홈(202)이 내측에 형성되고, 내부의 저면에 다수개 형성되며 하부면을 관통하여 외부에 통하는 다수개의 유로(210,212)가 형성된다. The second valve body (200) has a joining groove (202) formed on the inside to be joined to the lower part of the first valve body (100), a plurality of grooves formed on the lower surface of the inside, and a plurality of flow paths (210, 212) formed to penetrate the lower surface and lead to the outside.
다이어프램 개폐부(300)는 제2 밸브바디(200)의 결합홈(202)에 안착되는 다이어프램(3)과, 상기 제1 밸브바디(100)의 통로에 삽입되는 샤프트(310)와, 상기 샤프트(310)의 하단에 결합되어 다이어프램(3)에 밀착되는 샤프트헤드(320)로 구성된다. The diaphragm opening/closing part (300) is composed of a diaphragm (3) that is seated in the joining groove (202) of the second valve body (200), a shaft (310) that is inserted into the passage of the first valve body (100), and a shaft head (320) that is joined to the lower end of the shaft (310) and is in close contact with the diaphragm (3).
구동부(400)는 제1 밸브바디(100)의 상단에 결합되는 하우징(41)과, 상기 하우징(41)의 상부에 결합되며 외부로부터 에어가 주입되는 에어주입관(43)과, 에어가 흡입되는 에어흡입관(44)이 연결되는 커버(42)로 구성된 본체(4)와, 본체(4)의 내부에 결합되며 에어압력에 의해 승강구동되는 피스톤 조립체(5)를 포함한다. The driving unit (400) includes a housing (41) coupled to the upper end of the first valve body (100), a body (4) composed of an air injection pipe (43) coupled to the upper end of the housing (41) and into which air is injected from the outside, and a cover (42) to which an air suction pipe (44) into which air is sucked is connected, and a piston assembly (5) coupled to the inside of the body (4) and driven up and down by air pressure.
따라서 에어주입관(43)을 통한 에어 주입 또는 에어흡입관(44)을 통한 에어 흡입에 의해 피스톤 조립체(5)의 승강작동에 연동되어 샤프트(310)를 승강시켜 다이어프램(3)의 개폐작동이 유발될 수 있다. Therefore, the shaft (310) can be raised and lowered in conjunction with the lifting operation of the piston assembly (5) by injecting air through the air injection pipe (43) or sucking air through the air suction pipe (44), thereby causing the opening and closing operation of the diaphragm (3).
상기 본체(4)의 커버(42)는 하부에 개구부가 형성되고, 내부에 공간이 형성되며, 상부판(422)의 일측에 에어주입관(43)과 에어흡입관(44)이 각기 결합되는 주입구(423)와 흡입구(424)가 각기 형성되며, 상부판(422)의 주입구(423)에 통하며 상부판(422)의 하부에 돌출 형성된 체결관(428); 체결관(428)의 외주면에 결합되어 커버(42) 내에 구비되는 스프링(425); 체결관(428)의 내주면에 나사결합되며 내부에 통공이 형성된 조절너트(451)와, 상기 조절너트(451)의 통공에 결합되며 상기 체결관(428)의 주입구(423)로 머리가 노출되도록 결합되고 내부에는 통로가 형성된 조절볼트(452)로 구성되고, 상기 조절볼트(452)에 피스톤 조립체(5)가 연결되는 조절부재(45);를 포함하여 구성된다. The cover (42) of the above body (4) has an opening formed at the bottom, a space formed inside, an inlet (423) and an inlet (424) formed on one side of the upper plate (422) to which an air injection pipe (43) and an air suction pipe (44) are respectively connected, a fastening pipe (428) that is connected to the inlet (423) of the upper plate (422) and protrudes from the lower part of the upper plate (422); a spring (425) that is coupled to the outer surface of the fastening pipe (428) and provided inside the cover (42); It is composed of an adjusting nut (451) that is screw-connected to the inner surface of a connecting tube (428) and has a passage formed inside, and an adjusting bolt (452) that is connected to the passage of the adjusting nut (451) and has its head exposed to the injection port (423) of the connecting tube (428) and has a passage formed inside, and a adjusting member (45) in which a piston assembly (5) is connected to the adjusting bolt (452).
상기 조절부재(45)는 조절너트(451)로 피스톤 조립체(5)의 거리를 조절함으로써 밸브 고유 기능인 유량값에 대해서 조절이 가능하도록 구성되어 있으며 상기 조절너트(451)의 위치를 추가적으로 변동없이 고정하기 위해 조절볼트(452)를 사용하여 고정하는 것이다. The above-mentioned adjusting member (45) is configured to enable adjustment of the flow rate, which is a unique function of the valve, by adjusting the distance of the piston assembly (5) with an adjusting nut (451), and is fixed using an adjusting bolt (452) to additionally fix the position of the adjusting nut (451) without change.
도 6 및 도 7을 참조하면, 피스톤 조립체(5)는 Referring to Figures 6 and 7, the piston assembly (5)
조절볼트(452)의 하부가 삽입되도록 끼움공이 형성된 피스톤관체(512)와, 피스톤관체(512)의 외주연 하부에 원판형상으로 형성되어 커버(42)의 내주면에 밀착되고, 하부면에는 상기 끼움공과 통하는 하부통공이 형성된 상부피스톤(510);A piston tube (512) having a fitting hole formed so that the lower part of the adjusting bolt (452) can be inserted, and an upper piston (510) formed in a disc shape on the lower part of the outer periphery of the piston tube (512) to be in close contact with the inner surface of the cover (42), and having a lower hole formed on the lower surface that communicates with the fitting hole;
피스톤관체(512)의 하부통공에 끼움결합되며 내부에 통로가 형성된 중공관 샤프트(522)와, 상기 중공관 샤프트(522)의 하부에 원판형상으로 형성되어 하우징(41)의 내주면에 밀착되는 하부피스톤(520);A hollow shaft (522) that is fitted into the lower hole of a piston body (512) and has a passage formed inside, and a lower piston (520) that is formed in a disc shape at the lower part of the hollow shaft (522) and is in close contact with the inner surface of the housing (41);
중공관 샤프트(522)의 외주면이 관통결합되도록 중심부에 관통공이 형성되고, 커버(42)의 개구부 내주면에 고정설치되도록 원판형상으로 형성되어 상부피스톤(510)과 하부피스톤(520) 사이에 배치되는 피스톤 지지대(530);를 포함하여 구성된다. It is configured to include a piston support (530) which is formed in a disc shape so as to be fixedly installed on the inner surface of the opening of the cover (42) and is arranged between the upper piston (510) and the lower piston (520), with a through hole formed in the center so that the outer surface of the hollow shaft (522) can be penetrated and connected.
중공관 샤프트(522)는 외주면에 관통되어 통로와 통하는 1차 토출공(5221)이 형성되고, The hollow shaft (522) has a primary discharge hole (5221) formed through the outer surface to communicate with the passage.
1차 토출공(5221)은 상부피스톤(510)과 피스톤 지지대(530) 사이에 대응되게 형성된다. The first discharge hole (5221) is formed correspondingly between the upper piston (510) and the piston support (530).
그리고 통로의 하부에 형성되며 하부피스톤(520)의 하면에 관통되는 2차 토출공(5222)이 형성되며, 2차 토출공(5222)은 하우징(41)의 내측 저면을 향하도록 형성된다. And a secondary discharge hole (5222) is formed at the lower part of the passage and penetrates the lower surface of the lower piston (520), and the secondary discharge hole (5222) is formed so as to face the inner bottom surface of the housing (41).
한편 하부피스톤(520)과 제1 밸브바디(100)의 샤프트(310)가 일체로 승강구동되도록 하는 피스톤 연결부(60);를 포함한다. Meanwhile, it includes a piston connection part (60) that allows the lower piston (520) and the shaft (310) of the first valve body (100) to be driven up and down as one unit.
상기 피스톤 연결부(60)는 The above piston connection part (60)
하부피스톤(520)의 하부에 돌출 형성되어 제1 밸브바디(100)의 상단 개구부에 끼움결합되는 연장축(62)과,An extension shaft (62) that is formed protrudingly at the lower portion of the lower piston (520) and is fitted into the upper opening of the first valve body (100),
상기 제1 밸브바디(100)의 통로의 내주면에 결합되며 상기 연장축(62)의 외주면에 밀착되어 고정력과 밀폐력을 발휘하는 오링(64)을 포함한다. It includes an O-ring (64) that is joined to the inner surface of the passage of the first valve body (100) and is in close contact with the outer surface of the extension shaft (62) to exert fixing force and sealing force.
피스톤 조립체(5)의 작용을 살펴보면 다음과 같다. The operation of the piston assembly (5) is as follows.
에어주입관(43)에서 공급되는 에어가 주입구(423)를 통해 본체(4)의 내부에 주입되어 피스톤 조립체(5)의 중공관 샤프트(522)과 하부피스톤(520)을 하방으로 밀어 이동시키는 힘이 작용하게 된다. Air supplied from the air injection pipe (43) is injected into the interior of the main body (4) through the injection port (423), and a force is applied to push the hollow shaft (522) and lower piston (520) of the piston assembly (5) downward.
하부피스톤(520)이 하강시 샤프트(310)를 하방으로 밀게 되고, 샤프트헤드(320)가 다이어프램(3)을 가압하여 흡입유로(210)를 폐쇄시키게 된다(도 7의 (a)참조). When the lower piston (520) descends, it pushes the shaft (310) downward, and the shaft head (320) pressurizes the diaphragm (3) to close the suction path (210) (see (a) of FIG. 7).
반면 에어흡입관(44)을 통해 본체(4)의 내부에 흡입압이 형성되면, 상부피스톤(510)이 상승하게 된다. On the other hand, when suction pressure is formed inside the main body (4) through the air suction pipe (44), the upper piston (510) rises.
상부피스톤(510)과 중공관 샤프트(522)가 일체로 결합되어 있으므로 상부피스톤(510)이 상승되면 스프링(425)이 압축되고, 중공관 샤프트(522)와 하부피스톤(520)이 동반 상승하게 된다(도 7의 (b)참조). Since the upper piston (510) and the hollow shaft (522) are integrally connected, when the upper piston (510) rises, the spring (425) is compressed, and the hollow shaft (522) and the lower piston (520) rise together (see (b) of FIG. 7).
한편 제1 밸브바디(100)가 상기 하우징(41)에 회전 가능하게 결합되도록 회전부(70);를 포함한다. Meanwhile, the first valve body (100) includes a rotating part (70) so as to be rotatably coupled to the housing (41).
회전부(70)는 하우징(41)의 하부면에 형성된 결합공(410)을 통해 상기 제1 밸브바디(100)의 상부가 끼움결합되고, 제1 밸브바디(100)의 상부 외면에 결합되어 하우징(41)의 내면에 밀착되는 걸림판(72)과, 제1 밸브바디(100)의 상부 외주면에 결합되며 상기 결합공(410)의 내주면에 삽입되는 패킹(74) 및 제1 밸브바디(100)의 상부 외주면에 돌출 형성되어 하우징(41)의 하부면에 지지되는 환턱(76)을 포함하여 구성된다. The rotating part (70) is configured to include a catch plate (72) that is coupled to the upper outer surface of the first valve body (100) through a coupling hole (410) formed on the lower surface of the housing (41) and is in close contact with the inner surface of the housing (41), a packing (74) that is coupled to the upper outer surface of the first valve body (100) and inserted into the inner surface of the coupling hole (410), and a ring protrudingly formed on the upper outer surface of the first valve body (100) and supported on the lower surface of the housing (41).
제1 밸브바디(100)의 상부바디(110)가 본체(4)의 하우징(41)의 하부면에 형성된 결합공(410)에 삽입된 후 걸림판(72)이 결합됨으로써 걸림판(72)이 하우징(41)의 내면에 밀착된다.After the upper body (110) of the first valve body (100) is inserted into the joining hole (410) formed on the lower surface of the housing (41) of the main body (4), the engaging plate (72) is engaged, so that the engaging plate (72) is in close contact with the inner surface of the housing (41).
상부바디(110)의 외면에 홈(111)이 형성되고, 이 홈(111)에 걸림판(72)이 결합된다. 걸림판(72)은 상부바디(110)의 양측에 결합되도록 반원형 걸림판재(721)가 대칭 배치되어 원형으로 이루도록 구성된다. A groove (111) is formed on the outer surface of the upper body (110), and a catch plate (72) is joined to the groove (111). The catch plate (72) is configured to form a circle by symmetrically arranging semicircular catch plate materials (721) so as to be joined to both sides of the upper body (110).
따라서 제1 밸브바디(100)를 360도 회전시킬 수 있고, 걸림판(72)이 하우징(41)의 내면에 밀착되어 있어 이탈이 방지될 수 있다. Accordingly, the first valve body (100) can be rotated 360 degrees, and the engaging plate (72) is in close contact with the inner surface of the housing (41) to prevent detachment.
도 3을 참조하면, 제2 밸브바디(200)는 결합홈(202)이 내측에 형성되고, 내부의 저면 중앙에 형성된 흡입유로(210)와, 흡입유로(210)의 상부에 돌출된 환턱(220)과, 환턱(220)의 상단개구부에 결합되어 샤프트헤드(320)가 접촉되는 시트링(230)을 포함한다. Referring to FIG. 3, the second valve body (200) includes a joining groove (202) formed on the inside, a suction passage (210) formed in the center of the inner bottom surface, a protrusion (220) protruding from the upper portion of the suction passage (210), and a seat ring (230) coupled to the upper opening of the protrusion (220) so that the shaft head (320) comes into contact with it.
상기 환턱(220)의 외주연에는 도우넛 형상으로 환형홈(240)이 형성된다. 이렇게 형성된 환형홈(240)에는 2개의 배출유로(212)가 대칭 형성된다. An annular groove (240) in the shape of a donut is formed on the outer periphery of the above-mentioned ring (220). Two discharge channels (212) are formed symmetrically in the annular groove (240) formed in this manner.
배출유로(212)는 제2 밸브바디(200)의 저면으로 관통되어 유체가 배출될 수 있다. The discharge passage (212) penetrates the bottom surface of the second valve body (200) so that fluid can be discharged.
바람직하게는 흡입유로(210)와 배출유로(212)는 유체의 잔류 면적을 최소화할 수 있고, 원활한 퍼징을 위해 곡선형의 유로 형상으로 이루어진다. Preferably, the suction path (210) and the discharge path (212) can minimize the residual area of the fluid and are formed in a curved path shape for smooth purging.
또한 제2 밸브바디(200)의 결합홈(202)의 내주면에는 원주방향을 따라서 환형단턱(250)이 형성된다. Additionally, an annular step (250) is formed along the circumferential direction on the inner surface of the joining groove (202) of the second valve body (200).
이렇게 형성된 환형단턱(250)에는 다이어프램(3)의 외주연이 안착되어 결합된다. The outer periphery of the diaphragm (3) is secured and joined to the annular step (250) formed in this manner.
제2 밸브바디(200)의 결합홈(202)의 내주면에 결합되어 상기 다이어프램(3)의 외주연 상부에 지지되는 가압링(260)이 포함된다. A pressure ring (260) is included that is joined to the inner surface of the joining groove (202) of the second valve body (200) and supported on the upper surface of the outer surface of the diaphragm (3).
다이어프램(3)은 샤프트헤드(320)를 향해 볼록하게 형성되는 반구 형상의 가요부와, 가요부의 외주연에 평평하게 형성된 원판형의 날개부로 구성된다. The diaphragm (3) is composed of a hemispherical flexible portion formed convexly toward the shaft head (320) and a disc-shaped wing portion formed flat on the outer periphery of the flexible portion.
날개부가 가압링(260)에 압착되어 고정된다. The wing part is pressed and fixed to the pressure ring (260).
따라서 하부피스톤(520)이 하강하여 샤프트(310)가 하강되고, 샤프트헤드(320)가 다이어프램(3)을 가압하여 시트링(230)에 밀착됨으로써 흡입유로(210)를 폐쇄시키게 된다(도 7의 (a)참조). Accordingly, the lower piston (520) descends, the shaft (310) descends, and the shaft head (320) presses the diaphragm (3) to close against the seat ring (230), thereby closing the suction path (210) (see (a) of FIG. 7).
이와 반대로 상부피스톤(510)이 상승되면 샤프트(310)가 상승되고, 샤프트헤드(320)가 상승되어 다이어프램(3)을 가압하는 힘이 감소됨에 따라 시트링(230)과 다이어프램(3)이 이격되어 개방됨으로써 흡입유로(210)를 통해 유체가 유입될 수 있다(도 7의 (b)참조). Conversely, when the upper piston (510) rises, the shaft (310) rises, the shaft head (320) rises, and the force pressing the diaphragm (3) decreases, so that the seat ring (230) and the diaphragm (3) are separated and opened, allowing fluid to flow in through the suction passage (210) (see (b) of FIG. 7).
유입된 유체는 환형홈(240)에 충진되고 동시에 배출유로(212)를 통해 배출될 수 있다. The introduced fluid can be filled into the annular groove (240) and simultaneously discharged through the discharge passage (212).
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the attached drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications may be made without departing from the technical idea of the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain it, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all aspects and not restrictive. The protection scope of the present invention should be interpreted by the claims below, and all technical ideas within a scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the rights of the present invention.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.Therefore, other implementations, other embodiments, and equivalents to the claims are also included in the scope of the claims described below.
3 : 다이어프램 4 : 본체
5 : 피스톤 조립체 41 : 하우징
42 : 커버 43 : 에어주입관
45: 조절부재 60 : 피스톤 연결부
62 : 연장축 64 : 오링
70 : 회전부 72 : 걸림판
74 : 패킹 76 : 환턱
100 : 제1 밸브바디 110 : 상부바디
120 : 목부 130 : 하부바디
200 : 제2 밸브바디 210 : 흡입유로
202 : 결합홈 220 : 환턱
230 : 시트링 240 : 환형홈
300 : 다이어프램 개폐부 310 : 샤프트
320 : 샤프트헤드 400 : 구동부
423 : 주입구 424 : 흡입구
425 : 스프링 451 : 조절너트
452 : 조절볼트 510 : 상부피스톤
520 : 하부피스톤 530 : 피스톤 지지대 3: Diaphragm 4: Body
5: Piston assembly 41: Housing
42: Cover 43: Air Inlet Pipe
45: Control member 60: Piston connection
62: Extension shaft 64: O-ring
70: Rotating part 72: Catch plate
74 : Packing 76 : Reinforcement
100: 1st valve body 110: Upper body
120 : Neck 130 : Lower body
200: 2nd valve body 210: Suction path
202 : Combination Home 220 : Reverse Tuck
230 : Sheet ring 240 : Circular groove
300: Diaphragm opening 310: Shaft
320: Shaft head 400: Drive unit
423 : Inlet 424 : Inlet
425 : Spring 451 : Adjusting nut
452 : Adjusting bolt 510 : Upper piston
520: Lower piston 530: Piston support
Claims (3)
상기 제1 밸브바디의 하단부에 결합되는 결합홈이 내측에 형성되고, 내부의 저면에 다수개 형성되며 하부면을 관통하여 외부에 통하는 흡입유로와 배출유로가 형성된 제2 밸브바디;
상기 제1 밸브바디는 흡입유로와 배출유로는 유체의 잔류 면적을 최소화할 수 있고, 원활한 퍼징을 위해 곡선형의 유로 형상으로 이루어지고,
상기 제2 밸브바디의 결합홈에 안착되는 다이어프램과, 상기 제1 밸브바디의 통로에 삽입되는 샤프트와, 상기 샤프트의 하단에 결합되어 다이어프램에 밀착되는 샤프트헤드로 구성된 다이어프램 개폐부;
상기 제1 밸브바디의 상단에 결합되는 하우징과, 상기 하우징의 상부에 결합되며 외부로부터 에어가 주입되는 에어주입관과, 에어가 흡입되는 에어흡입관이 연결되는 커버로 구성된 본체와, 상기 본체의 내부에 결합되며 에어압력에 의해 승강구동되는 피스톤 조립체를 구비하고, 상기 피스톤 조립체의 승강작동에 연동되어 샤프트를 승강시켜 다이어프램의 개폐작동을 유발하는 구동부;를 포함하는 것으로,
상기 본체의 커버는
하부에 개구부가 형성되고, 내부에 공간이 형성되며, 상부판의 일측에 에어주입관과 에어흡입관이 각기 결합되는 주입구와 흡입구가 각기 형성되며,
상부판의 주입구에 통하며 상부판의 하부에 돌출 형성된 체결관;
상기 체결관의 외주면에 결합되어 커버 내에 구비되는 스프링;
상기 체결관의 내주면에 나사결합되며 내부에 통공이 형성된 조절너트와, 상기 조절너트의 통공에 결합되며 상기 체결관의 주입구로 머리가 노출되도록 결합되고 내부에는 통로가 형성된 조절볼트로 구성되고, 상기 조절볼트에 피스톤 조립체가 연결되는 조절부재;를 포함하고,
상기 조절부재는 조절너트로 피스톤 조립체의 거리를 조절함으로써 밸브 고유 기능인 유량값에 대해서 조절이 가능하도록 구성되어 있으며 상기 조절너트의 위치를 추가적으로 변동없이 고정하기 위해 조절볼트를 사용하여 고정하는 것이며,
상기 피스톤 조립체는
상기 조절볼트의 하부가 삽입되도록 끼움공이 형성된 피스톤관체와, 피스톤관체의 외주연 하부에 원판형상으로 형성되고 하부면에는 상기 끼움공과 통하는 하부통공이 형성되어 커버의 내주면에 밀착되는 상부피스톤;
상기 피스톤관체의 하부통공에 끼움결합되며 내부에 통로가 형성된 중공관 샤프트와, 상기 중공관 샤프트의 하부에 원판형상으로 형성되어 하우징의 내주면에 밀착되는 하부피스톤;
상기 중공관 샤프트의 외주면이 관통결합되도록 중심부에 관통공이 형성되고, 커버의 개구부 내주면에 고정설치되도록 원판형상으로 형성되어 상부피스톤과 하부피스톤 사이에 배치되는 피스톤 지지대;를 포함하며,
상기 중공관 샤프트는 외주면에 관통되어 통로와 통하는 1차 토출공이 형성되고,
상기 1차 토출공은 상부피스톤과 피스톤지지대 사이에 대응되게 형성되고,
상기 통로의 하부에 형성되며 하부피스톤의 하면에 관통되는 2차 토출공이 형성되며,
상기 2차 토출공은 하우징의 내측 저면을 향하도록 형성되어 이루어지며,
상기 하부피스톤과 제1 밸브바디의 샤프트가 일체로 승강구동되도록 하는 피스톤 연결부;를 포함하고,
상기 피스톤 연결부는
하부피스톤의 하부에 돌출 형성되어 제1 밸브바디의 상단 개구부에 끼움결합되는 연장축과,
상기 제1 밸브바디의 통로의 내주면에 결합되며 상기 연장축의 외주면에 밀착되어 고정력과 밀폐력을 발휘하는 오링
을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이어프램 가스 밸브 장치. A first valve body having upper and lower openings formed at the upper and lower portions, a passage formed inside, and a head insertion groove formed to pass through the lower portion of the passage;
A second valve body having a joining groove formed on the inside to be joined to the lower part of the first valve body, a plurality of joining grooves formed on the lower surface of the inside, and a suction passage and a discharge passage formed to penetrate the lower surface and lead to the outside;
The above first valve body has a suction path and a discharge path that can minimize the residual area of the fluid and has a curved path shape for smooth purging.
A diaphragm opening/closing part comprising a diaphragm that is seated in the joining groove of the second valve body, a shaft that is inserted into the passage of the first valve body, and a shaft head that is joined to the lower end of the shaft and is in close contact with the diaphragm;
It comprises a housing coupled to the upper end of the first valve body, a body comprising an air injection pipe coupled to the upper end of the housing and into which air is injected from the outside, and a cover to which an air intake pipe through which air is sucked is connected, a piston assembly coupled to the inside of the body and driven up and down by air pressure, and a driving unit that raises and lowers a shaft in conjunction with the raising and lowering operation of the piston assembly to induce an opening and closing operation of the diaphragm;
The cover of the above body
An opening is formed at the bottom, a space is formed inside, and an inlet and an inlet are formed on one side of the upper plate, to which an air injection pipe and an air suction pipe are respectively connected.
A connecting tube that protrudes from the lower part of the upper plate and passes through the inlet of the upper plate;
A spring coupled to the outer surface of the above-mentioned connecting tube and provided inside the cover;
It includes an adjusting member, which is composed of an adjusting nut that is screw-connected to the inner surface of the above-mentioned connecting tube and has a passage formed inside, and an adjusting bolt that is connected to the passage of the adjusting nut and has a head exposed through the inlet of the above-mentioned connecting tube and has a passage formed inside, and a piston assembly connected to the adjusting bolt;
The above-mentioned adjusting member is configured to be able to adjust the flow rate, which is a unique function of the valve, by adjusting the distance of the piston assembly with an adjusting nut, and is fixed using an adjusting bolt to additionally fix the position of the adjusting nut without change.
The above piston assembly
A piston tube having a fitting hole formed so that the lower part of the above-mentioned adjusting bolt can be inserted, and an upper piston formed in a disc shape on the lower part of the outer periphery of the piston tube and having a lower hole formed on the lower surface that communicates with the fitting hole and is in close contact with the inner periphery of the cover;
A hollow tube shaft that is fitted into the lower hole of the piston tube and has a passage formed inside, and a lower piston that is formed in a disc shape at the lower part of the hollow tube shaft and is in close contact with the inner surface of the housing;
A piston support member is formed in a disc shape so that the outer surface of the hollow shaft is penetrated and formed in the center to be connected, and is arranged between the upper piston and the lower piston to be fixedly installed on the inner surface of the opening of the cover;
The above hollow shaft has a primary discharge hole formed through the outer surface to communicate with the passage.
The above first discharge hole is formed correspondingly between the upper piston and the piston support,
A secondary discharge hole is formed at the bottom of the above passage and penetrates the lower surface of the lower piston.
The above secondary discharge hole is formed so as to face the inner bottom surface of the housing,
It includes a piston connection part that allows the shaft of the lower piston and the first valve body to be driven up and down as one unit;
The above piston connection part
An extension shaft that is formed protruding from the lower portion of the lower piston and is fitted into the upper opening of the first valve body,
An O-ring that is joined to the inner surface of the passage of the first valve body and adheres closely to the outer surface of the extension shaft to exert fixing and sealing force.
A diaphragm gas valve device characterized by including a.
상기 제2 밸브바디는
결합홈이 내측에 형성되고, 내부의 저면 중앙에 형성된 흡입유로와, 흡입유로의 상부에 돌출된 환턱과, 환턱의 상단개구부에 결합되어 샤프트헤드가 접촉되는 시트링과,
상기 환턱의 외주연에 형성된 환형홈과,
상기 환형홈에 다수개 형성된 배출유로를 포함하고,
상기 결합홈의 내주면에는 원주방향을 따라서 환형단턱이 형성되고, 상기 환형단턱에는 다이어프램의 외주연이 안착되어 결합되며,
상기 결합홈의 내주면에 결합되어 상기 다이어프램의 외주연 상부에 지지되는 가압링을 포함하며,
상기 제1 밸브바디가 상기 하우징에 회전 가능하게 결합되도록 회전부;를 포함하고,
상기 회전부는
상기 하우징의 하부면에 형성된 결합공을 통해 상기 제1 밸브바디의 상부가 끼움결합되고, 제1 밸브바디의 상부 외면에 결합되어 하우징의 내면에 밀착되는 걸림판과,
상기 제1 밸브바디의 상부 외주면에 결합되며 상기 결합공의 내주면에 삽입되는 패킹 및
상기 제1 밸브바디의 상부 외주면에 돌출 형성되어 하우징의 하부면에 지지되는 환턱을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이어프램 가스 밸브 장치. In paragraph 1,
The above second valve body
A joint groove is formed on the inside, a suction path formed in the center of the inner bottom surface, a protruding projection on the upper part of the suction path, and a seat ring that is joined to the upper opening of the projection and makes contact with the shaft head.
An annular groove formed on the outer periphery of the above-mentioned chin,
Including a plurality of discharge paths formed in the above annular groove,
On the inner surface of the above-mentioned joining groove, an annular step is formed along the circumferential direction, and the outer periphery of the diaphragm is secured and joined to the annular step.
It includes a pressure ring that is joined to the inner surface of the above-mentioned joining groove and supported on the upper surface of the outer surface of the above-mentioned diaphragm,
The first valve body includes a rotating part so that it can be rotatably connected to the housing;
The above rotating part
The upper part of the first valve body is fitted through a joining hole formed on the lower surface of the housing, and a catch plate is joined to the upper outer surface of the first valve body and is in close contact with the inner surface of the housing;
A packing which is joined to the upper outer surface of the first valve body and inserted into the inner surface of the joining hole; and
A diaphragm gas valve device characterized by including a protrusion formed on the upper outer surface of the first valve body and supported on the lower surface of the housing.
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Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060213557A1 (en) * | 2002-07-19 | 2006-09-28 | Ku Vincent W | Valve design and configuration for fast delivery system |
| KR20080079197A (en) * | 2007-02-26 | 2008-08-29 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | Euroblock and its manufacturing method |
| KR100982705B1 (en) * | 2005-08-30 | 2010-09-17 | 가부시키가이샤 후지킨 | Direct-touch type metal diaphragm valve |
| KR20170010824A (en) * | 2014-12-25 | 2017-02-01 | 가부시키가이샤 후지킨 | Fluid controller |
| KR20210126724A (en) * | 2019-02-19 | 2021-10-20 | 가부시키가이샤 후지킨 | valve |
| KR102613338B1 (en) * | 2019-07-31 | 2023-12-14 | 가부시키가이샤 후지킨 | Manufacturing method of valve device, fluid control device and valve device |
| KR20240008239A (en) | 2022-07-11 | 2024-01-18 | 노완동 | Display device |
| KR102717186B1 (en) * | 2024-01-18 | 2024-10-16 | 주식회사 토르 | diaphragm gas valve device |
-
2024
- 2024-12-31 KR KR1020240202666A patent/KR102796231B1/en active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060213557A1 (en) * | 2002-07-19 | 2006-09-28 | Ku Vincent W | Valve design and configuration for fast delivery system |
| KR100982705B1 (en) * | 2005-08-30 | 2010-09-17 | 가부시키가이샤 후지킨 | Direct-touch type metal diaphragm valve |
| KR20080079197A (en) * | 2007-02-26 | 2008-08-29 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | Euroblock and its manufacturing method |
| KR20170010824A (en) * | 2014-12-25 | 2017-02-01 | 가부시키가이샤 후지킨 | Fluid controller |
| KR20210126724A (en) * | 2019-02-19 | 2021-10-20 | 가부시키가이샤 후지킨 | valve |
| KR102613338B1 (en) * | 2019-07-31 | 2023-12-14 | 가부시키가이샤 후지킨 | Manufacturing method of valve device, fluid control device and valve device |
| KR20240008239A (en) | 2022-07-11 | 2024-01-18 | 노완동 | Display device |
| KR102717186B1 (en) * | 2024-01-18 | 2024-10-16 | 주식회사 토르 | diaphragm gas valve device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20250313 Patent event code: PE09021S01D |
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Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20250410 Patent event code: PR07011E01D |
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